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:CCD位移测量装置就是运用CCD技术设计的一种超高精度高速非接触激光位移测量仪器。其中测量头的设计是影响测量精度和测量系统整体性能的最主要因素。本文着重论述了测量头几何参数和光学系统参数的选择和计算
CCD激光微位移测量系统的测量头设计
【摘 要】
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:CCD位移测量装置就是运用CCD技术设计的一种超高精度高速非接触激光位移测量仪器。其中测量头的设计是影响测量精度和测量系统整体性能的最主要因素。本文着重论述了测量头几何参数和光学系统参数的选择和计算
【机 构】
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第二炮兵工程学院一系
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2001年02期
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