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综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
【摘 要】
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综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
【机 构】
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上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室; 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系; 美国加州大学伯克利分校伯克利传感器与执行器中心;
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2004年期
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