洁净工作台校准方法的研究

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针对洁净工作台的计量溯源需求,探讨其计量特性和校准项目,参考相关标准对洁净工作台的校准方法进行研究,并提出校准方法.采用该校准方法对洁净工作台进行试验,并对校准结果的不确定度进行评定,结果表明该校准方法科学合理、可操作性强,可用于评价洁净工作台的计量性能.
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