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【摘 要】
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提出了一种以生产率、剂量精度与激光器使用成本三者最佳匹配为优化目标的步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法及其数学模型,通过将激光器重复频率作为可调参量并引入
【机 构】
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华中科技大学机械学院微系统研究中心,华中科技大学机械学院微系统研究中心 武汉430074,武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部,武汉430074,武汉430074,武汉光电国家实验室光电材料与微
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2006年08期
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