【摘 要】
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对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理。通过机械冲击实验并采用扫描电镜（SEM）、X射线透视系统、扫描声学显微镜（SAM）观察及
【机 构】
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华南理工大学材料科学与工程学院特种功能材料教育部重点实验室,工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室
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对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理。通过机械冲击实验并采用扫描电镜（SEM）、X射线透视系统、扫描声学显微镜（SAM）观察及电性能测试等分析技术,研究了梳齿式MEMS加速度计在冲击载荷下的结构与封装失效,运用材料力学理论加以分析论证,发现悬臂梁断裂是较为主要的失效模式,且此类器件的封装失效主要表现为气密性失效和装配工艺失效,为MEMS器件的可靠性设计提供了重要依据。
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