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报导了能量为2.8 MeV、剂量为2×1015离子/cm2的P+离子注入形成的KTP平面光波导.采用棱镜耦合法来测量光波导的暗模特性,发现了6条TE模.采用反射计算方法拟合在三种不同条件(常温;200℃退火300min;77 K冷处理150 min)下波导区内的折射率分布情况.
P^＋注入KTP晶体形成平面光波导的特性研究
【摘 要】
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报导了能量为2.8 MeV、剂量为2×1015离子/cm2的P+离子注入形成的KTP平面光波导.采用棱镜耦合法来测量光波导的暗模特性,发现了6条TE模.采用反射计算方法拟合在三种不同
【机 构】
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山东大学化学与化工学院,山东大学物理与微电子学院
【出 处】
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山东大学学报：理学版
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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