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根据步进投影光刻机的基本原理及其基本结构,分析了影响投影光刻工艺的主要因素。根据多年对设备的维修经验,总结了ASML步进投影光刻机的常见故障并给出了相应的解决方法。
步进投影光刻机及其常见故障分析
【摘 要】
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根据步进投影光刻机的基本原理及其基本结构,分析了影响投影光刻工艺的主要因素。根据多年对设备的维修经验,总结了ASML步进投影光刻机的常见故障并给出了相应的解决方法。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年2期
其他文献
【摘要】：高职院校培养的人才既要具备从事社会某一类职业或某种职业岗位必需的职业技能，又要具备相应的职业道德，而种种职业道德都需要通过加强人文教育去培养。从文化与道德的关系来看：高层次的道德感主要依靠文化的积淀。民族文化，对民族精神的建构有着责无旁贷的社会担当。文化不仅是社会伦理的构成要素和支撑杠杆，而且也是社会道德的构成和支撑杠杆。故而将中国文化引入高职学生思想政治教育主渠道的 “德育教育课程”体