非晶碳膜中sp^2和sp^3相的检测方法

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非晶碳薄膜由sp^2和sp^3杂化的碳原子组成。sp^2和sp^3碳原子的比例是决定非晶碳膜的结构和性能的重要参数。如何定量或定性地分析碳薄膜中sp^2和sp^3碳的含量一直是十分重要的问题。目前用来测定sp^2和sp^3碳及其比例的实验方法有^13C核磁共振谱(NMR)、电子能量损失谱(EELS)、X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振谱、拉曼光谱(Raman)、红外光谱(IR)等。综述了这些测定方法及其特点。
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