一种新型副镜调整机构的位姿误差分析与测试研究

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为了满足望远镜副镜结构定位精度的要求,提出了一种固定杆长杆端轴向平移运动模式的六杆机构.根据六杆机构的结构和运动模式,对影响末端位姿的各项误差进行了分析,重点讨论了滑块运动误差对六杆机构运行精度的影响,最后通过搭建多自由度位姿检测平台对六杆机构进行了测试.测试结果显示:该副镜六杆机构在整个运动行程范围内平移轴测试精度好于0.25/μm,旋转轴测试精度好于0.2″,两维旋转轴最大重复定位精度好于1.4″,引起3维平移轴最大变化量〈4μm,3维平移轴最大重复定位精度好于4.5μm,引起两维旋转轴最大变化量〈3
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