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针对小尺寸高精度平面度测量设计了一种测头检测电路,LVDT位移传感器与AD698结合使用产生的电信号送至24位A/D转换,将测头采集的数据与扭簧表数值做对照实验,运用最小二乘法分析得到亚微米级的测量精度。
平面度精密测量电路设计与研究
【摘 要】
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针对小尺寸高精度平面度测量设计了一种测头检测电路,LVDT位移传感器与AD698结合使用产生的电信号送至24位A/D转换,将测头采集的数据与扭簧表数值做对照实验,运用最小二乘法分析得到亚微米级的测量精度。
【机 构】
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西安工业大学机电工程学院
【出 处】
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电子技术与软件工程
【发表日期】
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2015年04期
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