声表面波驱动的非接触式转动马达

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在研究摩擦力驱动的接触式转动马达的基础上,本文研制了一种由声表面波驱动的非接触式转动马达。这种马达的定子选用128°YX-LiNbO3晶体,在晶体表面光刻两对叉指换能器,由叉指换能器在定子表面激发两列平行而反向传播的声表面波。定子表面铺一层流体,转子就浮在流体表面。当定子表面有两列平行而反向的声表面波传播时,流体层中就会产生平行而反向的声流,这种黏性流体的声流运动就会驱动转子运动。实验上测定了马达的角速度随驱动电压、流体层厚度以及流体运动黏性系数变化的结果。同时,我们也发现,在相同工作频率下,非接触式转动马达的阈值电压远小于接触式。
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