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【摘 要】
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为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当
【机 构】
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北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,美的集团
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2019年5期
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