【摘 要】
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针对高端装备制造中对大尺度机床误差测量与补偿的要求,本文基于光学自准直原理和液体表面反射原理,研制了一种二维光电水平倾角测量系统以实现对机床滚转角和俯仰角的测量。
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目(2017YFF0204800);国家863计划资助项目(2013AA102402);国家自然科学基金资助项目(No.61501319);天津市自然科学基金资助项目(No.17JCQNJC01100);光电信息与仪器北京市工程研究中心开放课题资助项目(No.GD2015007);海洋经济创新发展区域示范项目资助项目(No.cxsf2014-2);教育部博士基金资助项目(
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针对高端装备制造中对大尺度机床误差测量与补偿的要求,本文基于光学自准直原理和液体表面反射原理,研制了一种二维光电水平倾角测量系统以实现对机床滚转角和俯仰角的测量。该系统使用半导体激光器发射激光,经光学自准直系统于待测硅油表面将被测倾角放大二倍。然后,由位置敏感探测器感测光斑位置变化,输出包含角度信息的光电流信号,并由低噪声四路同步微弱信号处理电路进行相同倍数的放大以减小误差。最终,由高速采集卡进行数据采集,经均值滤波、曲线拟合、解算处理后将其转化为倾角信息,从而实现二维角度测量。在光学平台进行了对比实验,
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