多孔氧化铝膜的纳米力学性能研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pooh__5210

【摘要】

：

采用二次铝阳极氧化技术，制备了高度有序的铝阳极氧化膜（AAO膜），孔径为50nm．利用纳米压缩仪结合纳米压痕仪对不同压缩位移条件下的AAO膜进行了纳米力学测试和卸载后的压痕原位扫描

【作者】

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姚素薇张璐张卫国张振宇李鸿琦

【机构】

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天津大学化工学院杉山表面技术研究室,天津大学力学系

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2006年3期

【关键词】

：

阳极氧化铝膜(AAO) 纳米压缩纳米压痕原位扫描

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采用二次铝阳极氧化技术，制备了高度有序的铝阳极氧化膜（AAO膜），孔径为50nm．利用纳米压缩仪结合纳米压痕仪对不同压缩位移条件下的AAO膜进行了纳米力学测试和卸载后的压痕原位扫描实验．通过测量加载-卸载曲线并用Oliver-Pharr模型分析计算得到，在压缩位移为0、3．3、6．6、9．9μm时，AAO膜的纳米硬度和弹性模量分别为1．49、1．79、1．69、1．55GPa和11．79、12．32、12．82、13．19GPa．由卸载曲线和原位扫描的压痕形貌可以看出，压缩位移为6．6和9．9μm时的压痕

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