微细加工中的激光检验仪

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美国加州的Phatonics AutomationProducts公司设计的激光检验仪可检验先进光刻材料、组件和工艺过程。深紫外PAP2193型检验仪的光束能量为0.5 mJ,光束直径为2 mm,带宽小于10 pm。(No.26)微细加工中的激光检验仪请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Laser testers designed by Phatonics Automation Products of California, USA, examine advanced lithography materials, components and processes. The Deep UV PAP2193 has a beam energy of 0.5 mJ, a beam diameter of 2 mm and a bandwidth of less than 10 pm. (No.26) Laser processing tester in microfabrication Please download to view, this article does not support online access to view profile.
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