直接光CVD SiO_2膜沉积速率的研究

来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuai000

【摘要】

：

根据光吸收定律和边界层理论 ,得到了直接光CVDSiO2 膜的沉积速率方程RSiO2 =∑　i,j,λKiDiNSiO2ρU0μLI0λ[1-e- (βj·PjCTPT·X) ],此方程与实验结果基本相符 . Accord

【作者】

：

谢茂浓杜开瑛石瑞英

【机构】

：

四川大学物理系!成都610064,四川大学物理系!成都610064,四川大学物理系!成都610064

【出处】

：

四川大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

1999年06期

【关键词】

：

沉积速率 CVD SiO_2 直接光光吸收光化学反应真空紫外光吸收定律衬底温度边界层理论反应气体

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

根据光吸收定律和边界层理论 ,得到了直接光CVDSiO2 膜的沉积速率方程RSiO2 =∑　i,j,λKiDiNSiO2ρU0μLI0λ[1-e- (βj·PjCTPT·X) ],此方程与实验结果基本相符 . According to the law of light absorption and the boundary layer theory, the deposition rate equation of direct photo CVDSiO2 film is obtained. The equation is basically consistent with the experimental results.

其他文献

Fe_(76)Cu_1Nb_2V_1Si_(10)B_(10)新型纳米晶合金的研究

报道了Ｆｅ７６Ｃｕ１Ｎｂ２Ｖ１Ｓｉ１０Ｂ１０新型纳米晶合金的研究结果。透射电镜和穆斯堡尔谱研究表明，合金经８３３Ｋ×３０ｍｉｎ真空退火，形成由平均晶粒尺寸为１８ｎｍ左右的α－Ｆｅ（Ｓｉ）相（～８６％）和少量非晶组成的显微结构。合金的饱和磁感应强度Ｂ５为１４２Ｔ，ｆ＝１ｋＨｚ时有

期刊

纳米晶合金FeCu_1Nb_2V_1Si饱和磁感应强度磁场处理磁场退火快淬平均晶粒尺寸有效磁导率穆斯堡尔谱

嗜人T淋巴细胞病毒I型（HTLV－I）相关HAM／TSP病（附5例报告）

本文报道应用间接免疫荧光法，从汕头地区９７例神经系统疾病患者血清中，检测出嗜人Ｔ淋巴细胞病毒Ｉ型（ＨＴＬＶ－Ｉ）抗体阳性的ＨＴＬＶ－Ｉ相关ＨＡＭ／ＴＳＰ病患者５例，阳性率为５．１５％。并对ＨＴＬＶ－Ｉ相关ＨＡＭ／ＴＳＰ病的临床特点、伴发疾病、病理及发病机

期刊

HAMHTLVTSP痉挛性瘫痪脊髓疾病间接免疫荧光法神经系统疾病抗体滴度汕头地区脊髓病

二磷酸核苷酸激酶在跨膜信息传递机理中的作用

二磷酸核苷酸激酶在跨膜信息传递机理中的作用张德昌（中国医学科学院，中国协和医科大学基础医学研究所，北京１００００５）对二磷酸核苷酸激酶（ｎｕｃｌｅｏｓｉｄｅｄｉｐｈｏａｓｐｈａｔｅｋｉｎａｓｅ，ＮＤＰＫ）在跨膜信息传递机理中的作用进行系统的观察。用自

期刊

二磷酸核苷酸传递机理中国医学科学院德昌鼠脑磷酸化反应三磷酸核苷酸间接调节红细胞膜信息传递

全息记录材料光谱增感效应的研究

研究了苯并噻唑三碳花青对以邻重氮醌类衍生物为光敏物质的全息材料的光谱增感作用，并对增感物质在成像过程的光化学反应中的作用机理提出了与实验结果相符的合理解释． The se

期刊

全息记录增感效应衍射效率光谱增感光敏物质光谱吸收苯并噻唑重氮成像过程光谱响应

云南易门三家厂凤山铜矿床59号矿体特征及成矿预测

易门三家厂铜矿床是昆阳裂谷易门裂陷盆地中与刺穿构造有关的强改造型矿床，刺穿体、断裂是主要的控矿因素。晋宁期，形成了NS向刺穿构造，凤山型矿床得到了初步富集；澄江期，形成了NE-NNE刺穿构造，前期初步富集的成矿物质进一步富集，凤山式铜矿床形成，59号矿体就是其中的典型代表。加里东期右行扭压作用产生右行走滑，使刺穿体呈“S"型产出，刺穿体最终产出状态基本形成。三家厂凤山型矿床是典型的构造控矿矿床，矿

期刊

铜矿床分布规律地质特征成矿预测

特大型轴承包装机的设计

轴承在出厂前要进行内包装和外包装。内包装的材料常用聚乙烯塑料薄膜，包装时要求多层缠裹。由于特大型轴承重量大，人工缠裹包装既不安全又费时，还要起重设备的配合。因此，设计了

期刊

大型轴承包装带缠裹缠绕运动运动机构摩擦盘尺寸范围内包装摩擦轮起重设备

An Analysis of Facework in Barack Obama's Public Speech at Shanghai Town Hall: from the Perspec

This study explores facework in Barack Obama’s public speech at Shanghai Town Hall by applying Cupach and Metts’ Face Management Theory(FMT) in the realm of c

期刊

realmpowerfulapplyingfacilitateautonomyaudiencesomethingpolitecompetent

骨髓基质细胞系BMSC1自发分泌多种细胞因子

骨髓基质细胞（BMSC）及其分泌的细胞因子在造血细胞分化发育过程中起重要作用。应用特异性细胞因子依赖株检测了自建的小鼠骨髓基质细胞株BMSC1的细胞因子分泌情况。实验说明BM-SC1细胞能自发分泌高水平的IL-6，中等水平的IL-7及较低水平的GM-CSF，未检测到化学趋化因子。此细胞上清对骨髓造血干细胞有明显的促集落形成效应，所形成的集落以CFU-GMM及CFU-GM为主，其促集落形成作用呈现剂

期刊

骨髓基质细胞BMSC1细胞因子集落形成骨髓造血干细胞剂量依赖关系自发分泌小鼠骨髓趋化因子上清

血小板活化因子对B淋巴细胞及巨噬细胞免疫功能的影响

血小板活化因子（ＰＡＦ）对免疫应答的影响日益被重视。本文观察了血小板活化因子（ＰＡＦ）对Ｂａｌｂ／ｃ小鼠Ｂ淋巴细胞抗体生成能力的影响及对小鼠腹腔巨噬细胞（Ｍφ）产生肿瘤坏死因子（ＴＮＦ）的影响。实验证明，ＰＡＦ（浓度为７．３×

期刊

血小板活化因子巨噬细胞免疫B淋巴细胞溶血空斑试验细胞抗体免疫应答免疫学研究肿瘤坏死因子小鼠脾细胞空斑

用铬天青S－溴化十六烷基吡啶胶束增溶分光光度法测定头发中的铝

讨论了用ＣＡＳ－ＣＰＢ胶束增溶比色法测定头发中铝含量的最佳实验条件。最大吸收波长为６３０ｎｍ，铝的线性范围为０～４．０μｇ，变异系数ＣＶ＝３．２％（ｎ＝６），回收率为９８％。 The best experimental conditions for the determination o

期刊

分光光度法测定铬天青实验条件线性范围抗坏血酸溶液最大吸收波长比色杯变异系数比色管试剂空白

直接光CVD SiO_2膜沉积速率的研究

其他学术论文