【摘 要】
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采用离子束辅助真空电弧沉积技术在玻璃衬底上制备了氮掺杂的TiO_2薄膜样品,通过X射线衍射（XRD）、XPS以及UV-Vis分光光度计等测试手段对离子束辅助沉积样品的结构、表面成分及
【机 构】
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广东工业大学轻工化工学院,华南师范大学物理与电信工程学院,广东工业大学材料与能源学院
【基金项目】
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国家自然科学基金（20803014）
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采用离子束辅助真空电弧沉积技术在玻璃衬底上制备了氮掺杂的TiO_2薄膜样品,通过X射线衍射（XRD）、XPS以及UV-Vis分光光度计等测试手段对离子束辅助沉积样品的结构、表面成分及抗菌活性进行了分析,研究了经离子束辅助沉积氮掺杂的TiO_2薄膜的抗菌性能。结果表明：离子束辅助沉积的氮掺杂的TiO_3薄膜为非晶态结构,热处理后向锐钛矿转变,出现（101）面的择优取向。离子束流越大,TiO_（2-x）N_x薄膜红移的越少;抗菌活性随着离子束流的增加而减弱,但离子束辅助沉积的掺氮TiO_2薄膜抗菌活性均比传统
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