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采用磁控溅射法在载玻片上制备了具有c轴高择优取向的Cr掺杂ZnO薄膜，利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和紫外-可见分光光度计（UV—Vis）研究了衬底温度对Cr掺杂ZnO薄膜结构及光学透射特性的影响．结果表明，在衬底温度为400℃时制备的Zn0.98Cr0.02薄膜具有最好的结晶质量；衬底温度对薄膜的吸收边基本没有影响，但衬底温度为400℃时薄膜具有较高的透过率，其原因是在该奈件下薄膜具有较好的结晶质量．