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为了稳定氧化铝深度脱硅过程的热工制度和降低能耗,采用小波神经网络辨识的内模控制方法进行氧化铝深度脱硅工艺过程控制。根据小波基函数的激励强度和衰减程度可以添加或者删除小波神经网络隐含层神经元,从而优化小波神经网络隐含层结构。再用自构建小波神经网络辨识内模控制系统的正模型和逆模型,从而改进神经网络内模控制技术。实验结果表明,所提出的控制方法比传统方法在鲁棒性和抗扰性方面具有更好的性能表现,各项指标均优于传统控制方法,实现了氧化铝深度脱硅工艺优化。