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微机电系统技术(MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的.其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来巨大的进步,是电子领域的新宠.
MEMS——电子领域的新宠
【摘 要】
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微机电系统技术(MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的.其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来
【机 构】
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山东师范大学物理与电子科学学院,山东师范大学实验室管理处
【出 处】
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山东师大学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年2期
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