脉冲激光沉积Al／Ag掺杂功能梯度薄膜

来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qisucha

【摘要】

：

为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分

【作者】

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胡少六江超何建平王又青

【机构】

：

华中科技大学,华中科技大学

【出处】

：

激光技术

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

Al/Ag掺杂薄膜脉冲激光沉积微观分析工艺参数 Al/Ag doping thin filmspulsed laser deposition(PLD)mi

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为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分析.分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5∶ 1的掺杂梯度薄膜.该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的.

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