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利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜。运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响。随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降。将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87%。
VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池
【摘 要】
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利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜。运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响。随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2005年06期
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