【摘 要】
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刀具在进行超高速切削工件时，刀具结构上及切削参数的变化会对工件的质量产生很大的影响。在超高速切削机床上用其进行切削实验，对切削硅晶片的划片刀的车削工艺、电镀工艺和后
【机 构】
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苏州大学应用技术学院,库力索法半导体（苏州）有限公司
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刀具在进行超高速切削工件时，刀具结构上及切削参数的变化会对工件的质量产生很大的影响。在超高速切削机床上用其进行切削实验，对切削硅晶片的划片刀的车削工艺、电镀工艺和后续加工工艺进行研究，利用改变切削参数中的走刀速度，并对切削之后的工件切缝宽度进行测量，得出切缝宽度与走刀速度关系，得出优化的切削参数。
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