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S枪是一种枪型磁控溅射源,它可以代替电子束蒸发源或电阻蒸发源,制成高质量的金属镀层。用S枪可镀制预定配比的铝-硅,铝-硅-铜台金薄膜,其台阶覆盖特性优于电子枪,均匀性≤±5%;且控制方便,无X射线损伤。
用S枪代替电子枪的金属化工艺
【摘 要】
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S枪是一种枪型磁控溅射源,它可以代替电子束蒸发源或电阻蒸发源,制成高质量的金属镀层。用S枪可镀制预定配比的铝-硅,铝-硅-铜台金薄膜,其台阶覆盖特性优于电子枪,均匀性≤&#
【机 构】
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上海无线电十四厂,上海无线电十四厂
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1989年10期
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