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采用溴水作为吸收溶液，将尾气回收氢中的微量磷化氢氧化吸收、富集后生成磷酸。在酸性介质中正磷酸与钼酸铵反应生成磷钼杂多酸，用抗坏血酸还原为蓝色的络合物，然后采用分光光度法于700nm波长处测定吸光度，间接计算出磷化氢含量。实验结果表明，在0—400wg／L浓度范围内磷的线性关系良好（r=0．999），方法检出限为0．045μg／L。该方法操作快速简便，可应用于多晶硅生产尾气回收氢中微量磷化氢的测定。