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采用Monte Carlo方法，模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程 .建立了电子碰撞使氢分解的模型，给出了在基片表面电子及氢原子的能量分布.结果对EACVD淀积金刚石 薄膜的研究有重要意义.
EACVD中基片表面电子及氢原子能量分布
【摘 要】
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采用Monte Carlo方法，模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程 .建立了电子碰撞使氢分解的模型，给出了在基片表面电子及氢原子的能量分布.结果对EACVD淀积金刚石 薄膜的研究有
【机 构】
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河北大学物理科学与技术学院
【出 处】
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河北大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2001年1期
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