【摘 要】
：
采用磁控溅射法制备NiCr-NiSi薄膜,以溅射功率、溅射时间、溅射气压及基片负偏压作为四因素进行正交试验,制备了9种性能不同的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀头,对每片测温刀头上
【机 构】
：
浙江机电职业技术学院机械工程学院,中国计量学院质量与安全工程学院
论文部分内容阅读
采用磁控溅射法制备NiCr-NiSi薄膜,以溅射功率、溅射时间、溅射气压及基片负偏压作为四因素进行正交试验,制备了9种性能不同的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀头,对每片测温刀头上薄膜与刀体之间的附着力进行了测试,并对测试结果进行了极差分析。分析结果表明：在4个溅射因素当中,基片负偏压是影响薄膜附着力大小的最主要因素,在一定范围内,增大基片的负偏压值可提高薄膜的附着力。验证试验表明,NiCr薄膜溅射参数为溅射功率90W、溅射时间30min、溅射气压0.45Pa、基片偏压-110V,NiSi薄膜溅射参数为
其他文献
甲骨文字不仅是汉民族文化信息的载体,它本身蕴育着民族传统文化的丰富内涵,是释读上古先民精神活动的活化石.通过古文字形体的透视,品位殷商先民的审美文化.
宽甸地区自然风光秀美,人文景观深厚,生态和水利等自然资源丰富,并具有近海、沿江、沿边的独特优势,是现代人近自然游憩的良好地域,优越的自然资源是当地发展生态游憩产业的
本文论述了用数学思想方法教学的心理学意义,以及教学的层次目的和教学模式.
延安气田位于山高、坡陡、塬、梁、峁、沟等地形较复杂的陕北地区,管线起伏多、起伏大,同时该气田单井产量较低,产量下降较快,从而导致管线携液能力差,极易发生积液,影响井区
研究张呼客专站房综合变电所采用的分散式RTU远动终端方案,分析其技术原理及特点。该分散式RTU远动终端方案可实现对变电所供电设备的全面监控,在施工安装、功能实现、维护管
随着高速铁路建设智能化的不断提速升级,作为高速铁路的动力能源核心,牵引变电所的供电安全、可靠、智能化具有重要意义。本文通过对高速铁路牵引供电系统对于智能化要求的特