SITH耐压容量的控制和调节

来源 :兰州大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunxunjun2008
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分析了SITH结构的掺杂电阻率、N-基区厚度、沟道尺寸以及终端结构对正向阻断电压的影响,分析了其横向自掺杂、沟道尺寸、外延层以及相关因素对栅-阴极击穿电压的影响,讨论了如何进行正向阻断电压和栅-阴极击穿电压的控制和调节.
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