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在宽带膜厚监控系统中,对光谱光强的实时准确测量是系统控制成败的关键.根据系统结构,分析了影响系统光谱分辨率的因素,选取合适的光栅、CCD.实验表明:增加狭缝宽度虽然提高了信号强度,但降低了系统分辨率.根据控制要求,确定狭缝宽度为1.4mm.采用汞灯的特征谱线对CCD像元与光谱波长的对应关系进行标定,实验结果表明满足对膜系光谱特性的要求.