【摘 要】
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采用射频磁控溅射并结合超高真空热处理工艺在不锈钢基底上制备出了纳米晶Li4Ti5 O12薄膜.利用X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）考察退火温度对薄膜结构、形貌的影响
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室
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采用射频磁控溅射并结合超高真空热处理工艺在不锈钢基底上制备出了纳米晶Li4Ti5 O12薄膜.利用X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）考察退火温度对薄膜结构、形貌的影响.并通过恒流充放电技术初步考察薄膜的电化学性能.研究结果表明,在550℃-750℃退火温度下制备了具有明显择优取向的纳米晶Li4 Ti5O12薄膜.其中650℃退火Li4 Ti5 O12薄膜结晶最完善,具备一定的充放电性能,有明显的充放电平台,比容量达到60μAh cm-2μm-1,可进一步研究作为薄膜锂电池阳极材料.
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