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【摘 要】
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硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院重大科技任务局
【出 处】
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空间电子技术
【发表日期】
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2019年5期
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