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利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50 GPa.销-盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能,利用扫描电镜观察并分析了薄膜的磨损模式.结果显示涂层结构致密,附着牢固.涂层的主要磨损形式为粘着磨损、疲劳磨损和磨粒磨损.
用扫描电镜研究CNx／TiN涂层的摩擦磨损
【摘 要】
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利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50 GPa.销-盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能,利用扫描电镜观察并分析了
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2003年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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