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采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软X光多层膜反射镜反射率的测量,实验观察了反射镜反射特性随入射角变化情况,同时对实验测量误差进行了分析。
X光多层膜反射镜反射特性实验研究
【摘 要】
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采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软X光多层膜反射镜反射率的测量,实验观察了反射镜反射特性随入射角变化情况,同时对实验测量误差进行了分析。
【机 构】
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上海激光等离子体研究所,上海201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1997年17期
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