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不同的制备工艺对ZnO薄膜的微结构和性能有很大的影响，为了得到成本较低，样品具有较好特性的实验方法，对于制备手段进行了探索。使用PVA溶胶-凝胶法制备了Zn0.88Co0.12O薄膜，研究了不同退火工艺对其微结构的影响。对于Zn0.88Co0.12O样品的微结构和室温下的铁磁性和发光特性，具体比较分析了产生原因。对比了Co掺杂和复合Co、Fe掺杂Zn0.88（Co0.5Fe0.5）0.12O样品的微结构，采用振动样品磁强计（VSM）测量了样品的磁特性，发现单一掺杂的薄膜具有更好的晶体质量和更强的磁性。