利用MOCVD在Si衬底上制备立方相Mg0.25Zn0.75O薄膜及日盲探测器

来源 :河北科技师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：eacy_tang

【摘要】

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采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长.在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75 O/n-Si异质结型日盲紫外探测器.该探测器在-5V偏压下,

【作者】

：

王立昆单崇新申德振张振中

【机构】

：

中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,河北科技师范学院

【出处】

：

河北科技师范学院学报

【发表日期】

：

2014年4期

【关键词】

：

立方相Mg0.25Zn0.75O 日盲探测器金属有机气相沉积 cubic Mg0.25 Zn0.75 O MOCVD solar-blind detector

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采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长.在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75 O/n-Si异质结型日盲紫外探测器.该探测器在-5V偏压下,器件暗电流为0.02 mA.在0V偏压下的峰值响应位于大约280 nm处,响应度为1.2 mA/W.

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