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采用高频等离子体化学气相沉积法（RF-PCVD），以WCl6＋C2H2＋H2的反应体系来制备纳米碳化钨微晶，实验制得了粒径小于100nm，平均粒径为50nm的纳米碳化钨微晶样品。理论分析和实验结果都表明：RF-PCVD法制备的碳化钨样品比较复杂，含有WC，W2C，WC1-x等三种碳化钨。其中WC的硬度较高，而W2C，WC1-x的催化活性较好。