论文部分内容阅读
以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料，采用溶胶一凝胶（Sol—Gel）法，利用旋转涂覆工艺，在不同基底上制备组分为摩尔分数x_Ba=0．65，x_Sr=0．35的（Ba_0.65，Sr_0.35）TiO3薄膜。用XRD和SEM分析薄膜的组成和表面形貌，研究基底材料对BST薄膜晶化行为及结构的影响。结果表明，经650℃热处理后，BST薄膜在硅基底上已基本形成ABO，型钙钛矿结构，晶粒发育较好，表面光滑致密；BST薄膜与硅基底的晶格匹配度比与玻璃和刚玉基底高；经刚玉粉处理过的硅基底和镀有ZnO薄膜的硅基底