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高精度硅微简谐振子的设计与制作工艺

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：x1026221496

【摘 要】

：

介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件——简谐振子的工作和设计原理，并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素．在实验中采用硅各向异性腐蚀法，制作出了高精度的硅微简谐振子．

【作 者】

：

恩德 魏建霞 徐可欣 童峥嵘 陈才和 崔宇明 斯琴 李超 

【机 构】

：

天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室,河南理工大学电气工程与自动化学院,天津航海仪器研究所

【出 处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2007年2期

【关键词】

：

微光机电系统 简谐振子 优化设计 腐蚀 micro-optic-electro-mechanical-system （MOEMS） harmonic oscil 

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介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件——简谐振子的工作和设计原理，并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素．在实验中采用硅各向异性腐蚀法，制作出了高精度的硅微简谐振子．改进浓度配比的腐蚀液，在80℃时，腐蚀速率控制在（0.53±0.2）μm．测试结果表明：SiO2控制精度达到0.1μm，可应用于光电集成加速度地震检波器的集成光学器件中．

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