论文部分内容阅读
采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al2O3基片上旋转涂敷制得掺Ag的SnO2薄膜。原子力显微镜和扫描电子显微镜分析显示：薄膜晶粒呈球形，600℃热处理粒径为20nm左右。热处理温度升高，晶粒尺寸增大。气敏性能采用静态法测试，掺Ag薄膜对体积分数为50×10^-6乙醇和汽油气体的灵敏度分别为32．7和4．9，与未掺Ag薄膜的14．4和7．2相比较，提高了乙醇气体灵敏度，抑制了汽油气体灵敏度，使选择性得到改善。直流加热条件下，试样电阻和电容在老化初期变化较大，数天后趋于稳定，复阻抗分析表明：长期稳定性与晶