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介绍了磁控溅射的基本原理，以及几种典型的磁控溅射镀膜技术（反应溅射、非平衡磁控溅射、等离子体加强磁控溅射技术）；并介绍了利用磁控溅射技术制备钛合金耐冲蚀涂层的新进展。
磁控溅射法制备耐冲蚀钛合金复合涂层研究进展
【摘 要】
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介绍了磁控溅射的基本原理，以及几种典型的磁控溅射镀膜技术（反应溅射、非平衡磁控溅射、等离子体加强磁控溅射技术）；并介绍了利用磁控溅射技术制备钛合金耐冲蚀涂层的新进展。
【机 构】
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黑龙江八一农垦大学工程学院,吉林大学工程仿生教育部重点实验室,长春理工大学图书馆
【出 处】
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黑龙江八一农垦大学学报
【发表日期】
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2012年2期
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