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针对乙二醇生产工艺中气体组分浓度的动态监测,介绍了一种质谱检测方法。相比其它在线分析仪表,质谱仪具有实时在线测量组分多、灵敏度高、稳定性好、动态范围宽等优点。本文对质谱仪的工作原理及分析方法进行介绍,对质谱仪动态检测乙二醇工艺中组份浓度进行分析验证,其分析准确性及稳定性完全满足工艺检测需要,它的成功应用极大提高了乙二醇生产效率。