活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3∶Mo薄膜的应用(下)

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【摘要】

：

2.4 ZnO掺杂透明导电氧化物沉积rn透明导电氧化物薄膜,例如SnO2、ITO、ZnO,有很多应用,如建筑玻璃、汽车、显示器、光伏器件.制备掺杂氧化锌膜用射频或脉冲直流溅射陶瓷靶,它

【作者】

：

Delahoy A E Guo S Y Paduraru C

【机构】

：

清华大学

【出处】

：

太阳能

【发表日期】

：

2014年8期

【关键词】

：

性环境空心阴极溅射特性掺杂透明导电氧化物薄膜反应磁控溅射直流溅射氧化锌膜建筑玻璃过渡模式光伏器件功率密度电压控制闭环控制重量比显

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2.4 ZnO掺杂透明导电氧化物沉积rn透明导电氧化物薄膜,例如SnO2、ITO、ZnO,有很多应用,如建筑玻璃、汽车、显示器、光伏器件.制备掺杂氧化锌膜用射频或脉冲直流溅射陶瓷靶,它含有ZnO和2％(重量比)Al2O3,无论如何靶的代价是过高的,而能用的功率密度是有限的.最近反应磁控溅射Zn∶Al靶受到关注,虽然它需电压控制和氧分压强的闭环控制以保证工作在金属/氧化物过渡模式.

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