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【摘 要】
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本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所 成都,610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1993年06期
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