【摘 要】
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本文介绍了一种用于高精度测量图案棱边直线性的装置。它由一个气浮导轨工作台、一台光电显微镜和两台双频激光干涉仪组成,一块高精度的反光镜用作直线标准。测量的可靠性可
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本文介绍了一种用于高精度测量图案棱边直线性的装置。它由一个气浮导轨工作台、一台光电显微镜和两台双频激光干涉仪组成,一块高精度的反光镜用作直线标准。测量的可靠性可优于±0.1μm。
This article describes a device for measuring the edge straightness of a pattern with high accuracy. It consists of an air-bearing guide table, a light microscope and two dual-frequency laser interferometer, a high-precision mirror as a straight line standard. The measurement reliability can be better than ± 0.1μm.
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六、托盘天平的使用螺丝游码刻度尺,指针标尺有托盘。调节螺丝达平衡,物码分居左右边。取码需用镊子夹,先大后小记心间。药品不能直接放,称量完毕要复原。简要说明:①组成托
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国产1530型短波治疗机以电缆作为输出器件,患者反映疗效不佳,医务人员也认为电缆容易产生高热,且操作不便。据此,我们对该机的输出部分进行了改造。 1530型短波治疗机的原输
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