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针对绝缘体上硅(SOI)压阻式噪声传感器的动态测量问题,利用声学特性分析基础进行声学结构设计,以保证噪声传感器的频响特性。设计了一种SOI感声膜芯片及与声腔结构构成的声敏感结构,通过调整结构参数可达到调整声腔的频率特性的目的。测试结果表明:噪声传感器具有良好的动态检测特性。
基于SOI压阻式噪声传感器的声学动态特性分析与设计
【摘 要】
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针对绝缘体上硅(SOI)压阻式噪声传感器的动态测量问题,利用声学特性分析基础进行声学结构设计,以保证噪声传感器的频响特性。设计了一种SOI感声膜芯片及与声腔结构构成的声敏感结构,通过调整结构参数可达到调整声腔的频率特性的目的。测试结果表明:噪声传感器具有良好的动态检测特性。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2018年05期
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