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MEMS压力传感器及其应用
MEMS压力传感器及其应用
来源 :电子产品世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:purple601
【摘 要】
:
简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。
【作 者】
:
颜重光
【机 构】
:
华润矽威科技(上海)有限公司
【出 处】
:
电子产品世界
【发表日期】
:
2009年06期
【关键词】
:
MEMS压力传感器
惠斯顿电桥
硅薄膜应力杯
硅压阻式压力传感器
硅电容式压力传感器
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简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。
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