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金属基柔性砂轮对陶瓷基板的磨削性能研究
金属基柔性砂轮对陶瓷基板的磨削性能研究
来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:otto0127
【摘 要】
:
提出一种免除砂带辅助装置,消除砂带横向振动及张紧力对磨削精度的影响,满足柔性砂轮磨削性能的金属基柔性砂轮,实验表明:新砂轮达到柔性砂轮的磨削效果,对陶瓷基板具有良好的磨削
【作 者】
:
郭隐彪
庄司克雄
【机 构】
:
重庆大学,日本东北大学
【出 处】
:
制造技术与机床
【发表日期】
:
2000年9期
【关键词】
:
集成电路陶瓷基板
磨削性能
金属基柔性砂轮
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提出一种免除砂带辅助装置,消除砂带横向振动及张紧力对磨削精度的影响,满足柔性砂轮磨削性能的金属基柔性砂轮,实验表明:新砂轮达到柔性砂轮的磨削效果,对陶瓷基板具有良好的磨削性能。
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