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阐述Mach-Zehnder型可调光衰减器的原理,分析影响器件功率消耗和器件响应的因素,然后根据硅基波导器件大截面的单模脊型波导理论,设计VOA器件的结构参数.并测试出VOA器件的近场模斑,器件衰减为0～26.3dB,器件最大功率损耗为368 mW,信号响应上升时间为7 μs,信号响应下降时间为97 μs.