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日本产业技术综合研究所开发出高灵敏度、快速测定的NOx传感器可即时测量NOx浓度来控制发动机燃烧，还可降低柴油车等的NOx排放量并提高燃效。NOx传感器通过精密控制检测NOx的电极表面的纳米结构，实现了极高的NOx分子选择性能。通过改进电化学单元结构、直接检测NOx分子，检测速度比此前提高了约5倍，并且NOx分子的检测灵敏度提高了约2倍。传感器采用脉冲激光沉积法，在SiO2底板上形成氧化锆陶瓷等。