【摘 要】
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随着社会经济的发展,科学技术的进步。微电子工业发展十分迅速,随着微电子技术的不断发展进步,电子元件集成度越来越高,大小不断下降。随着电子工艺不断升级完善的同时,对微
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随着社会经济的发展,科学技术的进步。微电子工业发展十分迅速,随着微电子技术的不断发展进步,电子元件集成度越来越高,大小不断下降。随着电子工艺不断升级完善的同时,对微电子器件的清洁条件却越来越高,微电子工艺中的清洗环节越来越严格,因为在微电子工艺中,微电子元件的清洁度会影响电子元件的质量和整体电子设备的运行。微电子工艺中的清洗是十分重要的。本文就微电子工艺中的清洗技术简要介绍,并对微电子工艺中的清洗现状与展望进行分析。
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